等离子系列产品
VP-10S全新全自动等离子清洗
适用于集成电路封装(引线框架清洗)，Wire/Die Bonding、EMC封装、前后处理
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| 功能配置 | 技术参考 | |
| 设备尺寸 | 长*宽*高 | L=1700，W=1200，H=1654 (mm) |
| 净重 | 1.0T | |
| 设备周边间隙 | 后面600mm，两边600mm | |
| 腔体 | 容积 | 约9L |
| 通道 | 4条 | |
| 下电极 | 2块 (待料功能) | |
| 上料方式 | 弹夹 | |
| 适应产品尺寸 | 宽度：40-100mm 长度：150-300mm | |
| 电极 | 电极尺寸 | 528x300mm |
| 射频电源 | 标准功率 | 4KW |
| 频率 | 13.56MHz | |
| 气体控制 | 最多支持三路 | 标配2路，可选配3路 |
| 控制系统 | 人机界面 | PC + 触摸显示屏 |
| 远程接口 | 通讯 | 选配 |
| 真空泵 | 可选干泵 | 17CFM |
| 可选油泵 | 195CFM | |
| 可选带吹扫功能干泵 | YES | |
| 氮气吹扫流量 | 2SLM | |
| 抽真空时间 | 10-15S | |
| 破真空时间 | 3-4S | |
| 厂务设施 | 电源 | AC380V 50-60HZ 4KW (油泵) / AC380V 50-60HZ 0.6KW (干泵) |
| 工艺气体管路尺寸&类型 | 1/4inch Swagelok | |
| 工艺气体纯度 | 工业级及以上 | |
| 工艺气体压力 | 10-20psig | |
| 吹扫气体管路尺寸&类型 | 1/4inch Swagelok | |
| 吹扫气体纯度 | 工业级及以上 | |
| 吹扫气体压力 | 15psig | |
| 气动阀门管路尺寸&类型 | 10mm push-in fitting | |
| 气动气体纯度 | 压缩空气，无油，露点≤7℃，颗粒<5 | |
| 气动气体压力 | 70-90psig | |
| 压缩空气排气管路 | 10mm | |
| 合规 | 认证 | SEMI |
| 辅助设备 | 氮气发生器(可选) | 有氮气吹扫功能需求时选配 |
| 水冷机(可选) | 配置冷却功能电极时选配 | |
| 氢气工具包(可选) | 使用氢气进行处理时选配 | |
| 尾气处理机(可选) | 含氟气体处理时的尾气处理选配 | |
| 运输 | 总重量 | 1.0T |
| 包装件数 | 1 | |
| 包装符合SPM15标准 | YES | |
