等离子系列产品-VP系列
VP-80L离线式真空等离子清洗机
去除灰尘和油污；精细清洗和去静电；提高表面的附着能力；提高表面粘接的可靠性和持久性；AF/AS层褪镀。
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| 功能配置 | 技术参数 | ||||
| 型号 | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L | |
| 外型尺寸(mm) | L=1200 W=920 H=1690 | ||||
| 真空腔内尺寸(mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 | |
| 真空腔材质 | 不锈钢 | ||||
| 电极板尺寸(mm) | 319 (L) × 374 (W) | 320 (L) × 420 (W) | 380 (L) × 440 (W) | 520 (L) × 470 (W) | |
| 电极板材质 | 专用铝电极 | ||||
| 重量 | 560KG | 580KG | 630KG | 680KG | |
| 控制 | PLC + 触摸屏 | ||||
| 电极板结构 | 水平8层 | ||||
| 真空泵系统 | 两级油旋片真空泵、罗茨真空泵组 | ||||
| 真空测定系统 | 皮拉尼电阻真空计 | ||||
| 气体测量系统 | 高精密质量流量计 | ||||
| 等离子发生器 | 高精密0-500W 等离子发生器 | 高精密 0-1000W 等离子发生器 | |||
| 等离子匹配器 | 高精密0-500W 自动匹配器 | 高精密0-1000W 自动匹配器 | |||
| 工作真空度 | 10-100 Pa | ||||
| 真空泵极限压力 | 0.5Pa | ||||
| 抽真空时间 | ≤55S | ≤70S | ≤80S | ≤100S | |
| 破真空时间 | ≤15S | ≤20S | ≤25S | ≤30S | |
| 气体控制范围 | 质量流量 0-300SCCM (可自选) | 质量流量0-500SCCM (可自选) | |||
| 射频电源 | 0-500W (范围内可调) | 0-1000W (范围内可调) | |||
| 操作模式 | 人工取放，一键全自动操作 | ||||
| 电源 | 三相380V | ||||
| 总功率 | 4KW | 4.5KW | |||
